(01)光学投影光刻关键技术及设备
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(02)集成电路光学检测技术及装备
(03)纳米光刻技术、工艺及装备
(04)特种光刻技术、工艺及装备
①(101)思想政治理论②(201)英语(一)③(301)数学(一)④(804)半导体物理