中国科学院大学 · 集成电路科学与工程考研(140100)学硕

（01）微纳光电子器件机理与可靠性分析

1

（04）集成电路专用材料

1

①(101)思想政治理论
②(201)英语（一）
③(301)数学（一）
④(804)半导体物理

（02）集成电路设计技术与应用

1

（03）微机电系统（MEMS）

1

①(101)思想政治理论
②(201)英语（一）
③(301)数学（一）
④(856)电子线路

（01）光学投影光刻关键技术及设备

1

（02）集成电路光学检测技术及装备

1

（03）纳米光刻技术、工艺及装备

1

（04）特种光刻技术、工艺及装备

1

①(101)思想政治理论
②(201)英语（一）
③(301)数学（一）
④(817)光学

（01）集成纳电子科学

3

（02）集成电路制造工程

3

①(101)思想政治理论
②(201)英语（一）
③(301)数学（一）
④(804)半导体物理

（03）集成电路设计与设计自动化

2

①(101)思想政治理论
②(201)英语（一）
③(301)数学（一）
④(856)电子线路