(01)集成电路设计与应用
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(02)微机电系统(MEMS)
(03)微纳半导体器件
①(101)思想政治理论②(201)英语(一)③(301)数学(一)④(804)半导体物理
(01)光学投影光刻关键技术及设备
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(02)集成电路光学检测技术及装备
(03)纳米光刻技术、工艺及装备
(04)特种光刻技术、工艺及装备
(01)集成纳电子科学
1
(02)集成电路制造工程
(03)集成电路设计与设计自动化